Знакомство с подушечками для полировки пола

Состав материала шлифовальных подушечек для пола (также называемых полировальными подушечками или шлифовальными подушечками) варьируется в зависимости от их предполагаемого применения и конкретного этапа рабочего процесса обработки.

Полировальные диски-также известные как диски CMP или химические-диски для механической выравнивания-служат основным расходным материалом в процессе химической-механической полировки (CMP). Они в основном используются для выравнивания поверхности подложек, таких как полупроводниковые пластины. Эти прокладки, которые обычно изготавливаются из таких материалов, как полиуретан, в общих чертах подразделяются-в зависимости от их состава-на типы, включая полиуретан, нетканые-тканые материалы, натуральные материалы и композитные материалы. Исторически этот рынок был сильно монополизирован иностранными предприятиями; На внутреннем рынке компания Dinglong Co., Ltd. является представительным предприятием в этом секторе.

Их основная функция в процессе полировки заключается в подаче полирующей суспензии, передаче давления и механическом трении на поверхность пластины.

Полировальные подушечки обычно имеют пористую микроструктуру со специальным рисунком канавок, нанесенным на их поверхность для повышения однородности полировки.

Ключевые параметры производительности,-такие как твердость и рисунок канавок-являются важнейшими характеристиками полировальных подушечек, поскольку они напрямую влияют как на скорость съема материала, так и на конечное качество поверхности.